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薄膜方塊電阻測試儀
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量矽外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及測量軟件組成
測量範圍
10-5 ------1.9*105 Ω?cm
10-4------1.9*104 Ω?cm
可測矽棒尺寸: ,長度300mm;直徑20mm(**按用戶要求%改)
輸出電流:DC0.001-100mA 五檔連續可調 測量範圍:0-199.99mV
靈 敏 度: 10μA
輸入阻抗:1000ΩM
電阻測量誤差:%檔均低於±0.05%
供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz.
使用環境:溫度:23±2℃ 相對溫度:≤65%
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