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薄膜方塊電阻測試儀
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量矽外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及**測量軟件組成
使用範圍
適用於西門子法、矽烷法等,生產**多晶矽料的企業
適用於物理提*生產多晶矽料生產企業
適用於光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用於科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業
產品特點
可測方塊電阻:適合檢測矽芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體矽
適用於西門子法、矽烷法等,生產**多晶矽料的企業
適用於物理提*生產多晶矽料生產企業
適用於光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用於科研部門、高等院校及需要**量程測量電阻率的企業
測試量程大,**電阻率測試儀
主機配置了“小遊移四探針頭”,了一起數據的準確性
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度**提高
測量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
*特的設計能**消除測量引線和接觸電阻產生的誤差, ***測量的高精度和,寬的量程範圍
雙數字表結構使測量*,,操作*簡便
具有**的測試數據查詢及打印功能
測量係統可實現自動換向測量、求平均值、,值、,值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構,使探針的遊移率減小,測量重複性**提高
采用進口元器件,留有*大的,係數,**提高了測試儀的,性和使用壽命
測量電流采用高度穩定的**恒流源(**之五精度),不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能,,測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
測量範圍
10-5 ------1.9*105 Ω?cm
10-4------1.9*104 Ω?cm
可測矽棒尺寸: ,長度300mm;直徑20mm(**按用戶要求*改)
輸出電流:DC0.001-100mA 五檔連續可調 測量範圍:0-199.99mV
靈 敏 度: 10μA
輸入阻抗:1000ΩM
電阻測量誤差:各檔均低於±0.05%
供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環境:溫度:23±2℃ 相對溫度:≤65%
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礦用隔*兼本質**型
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