自動橢圓偏振測厚儀文章

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控製等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊，，具有多樣數據采集及處理方式，適用於不同用戶的需要。
，指標：
測量範圍：薄膜厚度範圍1nm-4000nm;折射率範圍：1-10
測量，示值：≤1nm
入射角：20°- 90°精度≤0.05°
偏振器方位角範圍：0°- 180°
度盤刻度：每格1度
偏振器步進角：0.014°/步
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
測量膜厚和折射率重複性精度分別為：0.5nm和0.005
光學中心高度：80mm
允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
外形尺寸：680*390*310mm
主機重量：26kg
儀器成套性：
主機、電控係統、USB接口、配套軟件（需配計算機）。