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產品名稱: YQDH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機
產品型號: YQDH-900DZX
產品展商: ghitest
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簡單介紹
品簡介
該鍍膜機可鍍製不鏽鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍製合金膜或化合物,也可在工件表麵上鍍製單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾塗層,具有鍍膜速度快,膜層好的優點。
YQDH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機
的詳細介紹
產品簡介
該鍍膜機可鍍製不鏽鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍製合金膜或化合物,也可在工件表麵上鍍製單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾塗層,具有鍍膜速度快,膜層好的優點。
1 真空室:鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前開門結構;
2 抽氣係統:機械泵:前泵70L/S;維持泵:2×-8旋片泵;羅茨泵:擴散泵:腔擴泵;分子泵﹝選配﹞
3 限真空:5×10-4Pa; 恢複真空:5×10-3Pa﹝小於20min﹞;
4 鍍膜係統:平麵磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;
5 輔助鍍膜係統:脈衝偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6 膜厚測量係統:石英晶體膜厚監控係統﹝選配﹞。
7 進氣係統:自動壓強控製+多路流量控製係統;
8 操作方式:手動按鍵式;自動控型配置:研華工控機,80G硬盤,512內存+日本三菱PLC;15英寸液晶顯示觸摸屏界麵;
9 旋轉夾具:公轉/自轉夾具,速度從0~15r/min *可調;
10 工作烘烤:室溫~300 ℃;
11 供電電源:三相380V,50HZ。