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    產品資料

    YQDH-500ZZS箱式電子束蒸發鍍膜機

    如果您對該產品感興趣的話,可以
    產品名稱: YQDH-500ZZS箱式電子束蒸發鍍膜機
    產品型號: YQDH-500ZZS
    產品展商: ghitest
    產品文檔: *相關文檔

    簡單介紹

    適用於製備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，***薄膜研究及新材料****工作。其主要特點為功能強、鍍膜穩定、重複性好、操作簡便。


    YQDH-500ZZS箱式電子束蒸發鍍膜機  的詳細介紹
    產品簡介
      適用於製備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，***薄膜研究及新材料****工作。其主要特點為功能強、鍍膜穩定、重複性好、操作簡便。
    主要參數
    1、鍍膜室體積：500×500×600mm3，**規格可定做；
    2、限真空度：6.7×10-5 Pa，恢複真空：從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分鍾）；
    3、真空抽氣係統：機械泵與複合分子泵組成；真空測量係統：複合數顯真空計；
    4、蒸發源：電子束蒸發源：270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0～6KW可調；
               電阻蒸發源：銅水冷電4根，功率：3kW/10V兩組；
    5、結構形式：立式前開門後置抽氣係統；
    6、工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調（PID控溫）；
    7、旋轉夾具：公轉或行星公自轉夾具。速度從 0r～30r/min *可調；
    8、選配件：光學膜厚測量係統、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等；
    9、供電電源：三相AC380V，50Hz；整機功率22KW。
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